三星ダイヤモンド工業株式会社（本社：大阪府吹田市南金田2-12-12 社長：三宅泰明）は、CIGS/CIS薄膜太陽電池用のメカニカルとレーザの両方を搭載したハイブリットのパターニング装置MPV-LMMシリーズを新たに開発しました。
メカニカルとレーザのマルチヘッド化によりP1からP3までのCIGS/CIS薄膜太陽電池の全てのパターニング工程が1台で加工が可能であり、今までに無いオールインワンタイプの省スペース・省コストを実現しました。特にCIGS/CIS薄膜太陽電池の研究開発・試作用・プロセス検証用として最適です。
本装置はＰＶ ＥＸＰＯ２０１０（3/3-5：東京ビックサイト）に出展します。是非この機会にご覧下さい。
MPV-LMMシリーズ
【対開発の背景】
CIGS系薄膜太陽電池は他の薄膜太陽電池に比べて、低コストで高い変換効率のポテンシャルがあり、次世代の太陽電池として期待されています。
小面積単セルでは米国（NREL）が19.9%の変換効率を達成しているものも、大面積モジュールでは13%程度と大きく差があります。この差は集積化による損失が大きく、その中でもP1・P2・P3のパターニングによるデットエリアに起因するものが大きいです。その為、今後集積化した場合の発電ロスをいかに少なくするかが重要な課題として、パターニングの高性能化が要求されています。
当社は既に2007年から(独)産業総合技術研（AIST）との共同開発により、CIGS太陽電池のP2・P3のメカニカルパターニング技術・装置を確立し、国内外の研究所やパネルメーカーにR&D及び量産用への実績を増やしております。
次に当社がご提案するのは、CIGSのパターニングのトータルソリューションです。P2・P3のメカニカルパターニング以外に、従来より保有するガラス用レーザ切断装置での高い技術を応用し、P1のレーザパターニング工程の開発を進め、P1のレーザパターング技術も確立しております。
世界的にも数少ない、レーザとメカニカルの両方の技術を保有している当社から、この度P1からP2・P3及びガラス分断までが1台で可能なハイブリット式パターニング装置MPV-LMMシリーズを新たにリリースしました。
【MPV-LMMに関して】
◆特 徴
本装置はP1用のレーザヘッドとP2・P3用のメカニカルヘッド以外に、R&D用で要望の高いガラス分断用のカッテイングヘッドの合計3ヘッドを標準装備しております。また、要望によりヘッド種類の選択やヘッド数の増減の対応も可能です。その他にも、エッジアイソレーション用（P4）のツールやバスバーパターニング用の特殊幅広ツールの装着もオプションとして取り付けが可能です。
◆基本仕様
・搭載ヘッド数： 3ヘッド※（オプションでヘッド構成変更可能）
① Ｐ１用 ファイバーレーザ X 1
② Ｐ２・Ｐ３用 メカニカルツール X 1
③ ガラス切断用 カッティングホイール X 1
・レーザ加工面：膜面側からの加工（ガラス面からのオプションもあり）
・テーブル：吸着方式（ガラス製）
・基板搬入･搬出：マニュアル作業（自動化オプションもあり）
・アライメント：CCD 2カメラにて自動アライメント機構
・その他：集塵ユニット装備
※記載された使用は予告無く変更する場合があります。
【今後の予定】
| PV EXPO 2010出展 | ： 2010年 3月 |
| 発売開始予定 | ： 2010年 4月 |
■ お問い合わせ先
本件に関するお問い合わせは以下の連絡先までお願いいたします。
三星ダイヤモンド工業株式会社 開発推進部 TEL：06-6378-3847