- 【R＆D用】
狭幅で膜剥がれの少ない高精度のパターニングがデッドエリアの縮減を実現 -
ガラス分断装置のロングセラーを太陽電池パターニング用途に改良。
独自に開発・製造するパターニングツールがあらゆるCIGS基板に最適なP2/P3パターニングを提供。- 高速でも安定した膜剥がれの少ない狭幅のメカニカルパターニングが可能。
最小幅：30μm（参考値、ただし膜質による） - パターニングツールはMDI が独自に開発・製造。
FPD 分野における世界シェア70%のMDIガラス分断ノウハウを化合物系（CIGS ／ CIGSS ／ CIS）薄膜太陽電池のP2･P3メカニカルパターニングに応用。 - R Dの現場に最適な“ 小型 All in One” タイプとして、オプションでツインヘッド機構のガラス分断も可能。（その他、多数オプション）
- 高速でも安定した膜剥がれの少ない狭幅のメカニカルパターニングが可能。
標準仕様
| 対応基板厚み Glass Thickness | 1.0mm-4.0mm |
|---|---|
| パターニング幅 Patterning Width | 30～100μm ※1 |
| 動作制御 Operating System | PC Windows® OS |
| 画像認識 Alignment System | 2 cameras with auto alignment |
| ユーティリティ Utility | Power AC200 3-phase |
| CDA 0.5MPa 30L/min | |
| Vacuum －60kPa 40L/min |
| MODEL | MPV300-MS | MPV500-MS |
|---|---|---|
| 基板サイズ※2 Glass Size | 300×300mm MAX | 500×500mm MAX |
| 装置寸法 Dimensions(W×D×H) | 900×1,415×1,430mm | 1,180×1,650×1,972mm |
| 重量 Weight | approx.800kg | approx.950kg |
| 速度 Speed | 500mm/sec MAX | |
※1 実基板の状態により異なる場合もあります。
※2 上記以外のサイズに関しても対応いたしますので、詳細は当社までお尋ねください。