【ポスター発表】先進パワー半導体分科第12回講演会
三星ダイヤモンド工業株式会社は、2025年11月19日（水）～20日（木）公益社団法人 応用物理学会先進パワー半導体分科による先進パワー半導体分科 第12回講演会でSiCウエハのスクライブ現象に関する考察についてポスター発表いたします。
ポスター発表概要
- 日時：2025年11月19日(水)～20日（木）
- 会場：富山国際会議場
- タイトル：「オフ方向に対するスクライブ方向がSiCウエハのスクライブ品質に及ぼす影響」
- 発表者：三星ダイヤモンド工業株式会社 田中 茉紀
- 発表概要：SiCウェハのスクライブに伴うチッピング発生の現象について、理論計算を用いて考察
開催概要（先進パワー半導体分科 第12回講演会）
主催： 公益社団法人 応用物理学会先進パワー半導体分科
パワー半導体の結晶成長、基礎物性評価、プロセス技術、デバイス、機器応用等の分野に関する講演会です。
