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ガラスのレーザスクライブにおける亀裂湾曲メカニズムの解明と亀裂形状の推定

論文タイトル ガラスのレーザスクライブにおける亀裂湾曲メカニズムの解明と亀裂形状の推定
著者 八幡恵輔 , 大村悦二 , 清水政二 , 村上政直
公開日 2013年 3月 1日
収録刊行物 レーザ加工学会誌20-2
46-53
抄録 熱応力を利用したガラス基板のレーザスクライブにおいて,加熱域の中心と冷却域の中心がずれた場合の亀裂進展現象を予測することを目的として,まず実験によって亀裂形状を調べた.基板中央付近では亀裂が準定常的に進展し, 断面形状が湾曲することを明らかにした.このような非対称応力場内での準定常亀裂進展現象を境界要素法を用いて解析する方法を提案した.亀裂形状の解析結果は実験結果と比較的よく一致し,解析方法と解析結果の妥当性および有用性が示された.
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